STEM透射電鏡是賽默飛用于高分辨率成像和分析應用的場發射掃描/透射電子顯微鏡，是專為滿足各種材料科學樣品和樣品的性能和效率而設計的。在應用中具有大靈活性，結合高再現性能的鏡筒設計，可支持高分辨率二維和三維表征分析、原位動態觀測及電子衍射應用。
 

　　STEM透射電鏡的主要特點：
 

　　(1)STEM技術要求較高，要非常高的真空度，并且電子學系統比TEM和SEM都要復雜。
 

　　(2)加速電壓低，可顯著減少電子束對樣品的損傷，而且可大大提高圖像的襯度，特別適合于有機高分子、生物等軟材料樣品的透射分析。
 

　　(3)可以觀察較厚的試樣和低襯度的試樣。
 

　　(4)掃描透射模式時物鏡的強激勵，可以實現微區衍射。
 

　　(5)應用掃描電鏡的STEM模式觀察生物樣品時，樣品無需染色直接觀察即可獲得較高襯度的圖像。
 

　　STEM透射電鏡的形成原理：
 

　　在掃描電鏡中，電子束與薄樣品相互作用時，會有一部分電子透過樣品，這一部分透射電子也可用來成像，其形成的像就是掃描透射像。掃描電鏡的STEM圖像跟透射電鏡類似，也分為明場像和暗場像，明場像的探測器安裝在掃描電鏡樣品的正下方，當入射電子束穿過樣品后，散射角度較小的電子經過光闌孔選擇后進入明場探測器形成透射明場像，散射角比較大的電子經DF-STEM電極板反射，由二次電子探頭接受形成暗場像。