高分辨率掃描電鏡突破了傳統(tǒng)臺式掃描電子顯微鏡用BSD探測器成像的局限性，采用創(chuàng)新的雙聚光成像技術，采用大規(guī)模掃描電子顯微鏡成像模式，并使用二次電子探測器作為基本成像單元。因此，可以獲得更高的分辨率，這是真正意義上的高分辨率臺式掃描電子顯微鏡。
高分辨率掃描電鏡具有與大型掃描電子顯微鏡相同的分辨率。該設備實現(xiàn)了大型電子顯微鏡的小型化，放大倍數(shù)高達10萬倍；搭載易于使用的可變光圈，可實現(xiàn)5nm的圖像分辨率。
它是高分辨率臺式掃描電子顯微鏡中的高分辨率設備；作為5軸工作臺，它可以同時使用鼠標控制和快捷鍵移動樣本進行分析；通過各種掃描模式和測試工具可以獲得各種分析結果，廣泛應用于材料科學、生命科學、教育、鑒定、工業(yè)、電子、環(huán)境、能源等領域。
高分辨率臺式掃描電子顯微鏡是費納電子顯微鏡系列中的先進產(chǎn)品。它是目前世界上高分辨率的臺式掃描電子顯微鏡，可用于測量亞微米或納米級樣品。它繼承了費納電子顯微鏡系列的高分辨率全自動操作、2-3年的燈絲更換和防震設計。
高分辨率掃描電鏡具有更簡單易用的導航模式和更快的操作模式，它可以自動設置生物樣品和材料樣品，提高和擴展實驗室中光學顯微鏡或掃描電子顯微鏡儀器的分辨率和景深。自動和手動控制高分辨率臺式掃描電子顯微鏡的預設方案，高真空和低真空模式，導體和非導體樣品不需要特殊的樣品處理準備，如涂層和干燥。
