場發射掃描電鏡是一種常用的高分辨率顯微鏡，廣泛應用于材料科學、生物學、納米技術等領域。它由多個關鍵組成部分構成，下面將對場發射掃描電鏡的主要組成部分進行簡析。
1、電子槍：電子槍是FE-SEM的核心部件之一，負責產生高能電子束。電子槍包括發射源和加速系統。發射源通常采用鎢絲或石墨等材料，并通過加熱使其發射電子。加速系統使用高壓電場將電子束加速至所需的能量水平。
2、減焦系統：減焦系統用于將電子束從電子槍聚焦為細小的電子束，以便獲取更高的分辨率。減焦系統通常包括透鏡和電磁透鏡等光學元件，通過控制電磁場來聚焦電子束。
3、樣品臺：樣品臺是放置待觀察樣品的平臺，通常具有XYZ軸移動功能，使得可以對樣品進行精確定位和調整。樣品臺上的樣品需要導電性良好，以便在電子束照射時產生有效的信號。
4、掃描系統：掃描系統用于控制電子束在樣品表面上的移動，實現對樣品的掃描。通常使用電磁掃描線圈來產生控制電子束掃描的磁場，從而實現對樣品表面的像素化掃描。
5、探測器：探測器負責檢測由電子束與樣品相互作用所產生的信號。常見的探測器包括二次電子檢測器和反射電子檢測器。二次電子檢測器用于獲取樣品表面形貌信息，反射電子檢測器則用于獲取樣品的元素成分和晶體結構等信息。
6、顯示和記錄系統：FE-SEM通常配備顯示屏和相應的圖像處理軟件，用于實時觀察和處理樣品的圖像。此外，還可以將圖像記錄下來以供進一步分析和保存。
7、真空系統：FE-SEM工作需要在高真空環境下進行，以避免電子束與氣體分子發生散射而影響分辨率。真空系統包括真空室、泵和閥門等組件，用于維持合適的工作壓力。
總的來說，場發射掃描電鏡主要由電子槍、減焦系統、樣品臺、掃描系統、探測器、顯示和記錄系統以及真空系統等組成。這些組件共同協作，使得FE-SEM能夠實現高分辨率的樣品表面形貌觀察和分析。
